真空泵油除了具備各種潤滑油 的通用要求外，其特有要求是要有低的飽和蒸氣壓，也就是餾分窄，輕組分少。

    真空泵油主要選擇黏度，一般轉(zhuǎn)速越高，線速度越大，配合間隙越小，則選的黏度越低。真空泵油的品種應參照設(shè)備制造廠的推薦。大尺寸的擴散泵，特別是換油頻繁的治煉設(shè)備，可選用礦物油型擴散泵油，電子行業(yè)的擴散泵，一般用硅油。

    真空泵使用中應注意以下三點：

      1、保證儲運、加油、換油過程要清潔，嚴防被污物、水、其他油污染；

      2、不同牌號、不同品種要分別存放，不能混用，新舊油也不能混用；

      3、換油時舊油必須排盡，并清洗干凈，最后用新油沖洗，再換新油。